离子泵
VacIon Plus 75
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为唯一能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
特性
- 单元室采用优化设计，可最大限度提高排放强度和抽速
- 离子泵在真空状态下运输
- 具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）
- 可提供多种泵体配置
- 联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和最大限度缩小泵的总体尺寸
- 三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
- 专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
- 提供扫描电子显微镜 (SEM) 型
性能指标
技术指标
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StarCell® |
改进型二极离子泵 |
二极泵 |
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氮气名义抽速 (*) (L/s) |
65 |
68 |
75 |
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在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命（小时） |
80,000 |
50,000 |
50,000 |
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最大启动压力 (mbar) |
≤ 5x10-2 |
≤ 1x10-3 |
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极限真空 |
低于 10-11 |
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抽气口法兰 |
6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST |
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最高烘烤温度 (℃) |
350 |
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重量，kg（磅） |
19 (42) |
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外形图
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