涡轮分子泵
TwisTorr 84 FS
TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证最佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性
- 创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
- 高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
- 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，最佳的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，最大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
- 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
- 铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。
性能指标
技术指标
|
抽速 |
KF 40 |
CFF 2.75 英寸 |
ISO 63，CFF 4.5 英寸 |
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氩气 |
44 L/s |
57 L/s |
66 L/s |
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氮气 |
49 L/s |
56 L/s |
67 L/s |
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He |
38 L/s |
46 L/s |
63 L/s |
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|
氢气 |
36 L/s |
40 L/s |
53 L/s |
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全转速气体流量（与推荐前级泵一起使用） |
风冷（25 ℃） |
水冷（25 ℃，65 L/h） |
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氮气 |
100 sccm |
100 sccm |
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氩气 |
70 sccm |
70 sccm |
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压缩比与前级耐压 |
压缩比 |
前级耐压 |
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氩气 |
> 1.0 x 1011 |
大于 14 mbar |
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氮气 |
≥ 1.0 x 1011 |
大于 14 mbar |
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He |
2.0 x 106 |
大于 12 mbar |
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|
氢气 |
5.0 x 104 |
大于 4 mbar |
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采用推荐前级泵的极限真空 (5 m3/h) |
小于 8.0 × 10-10 mbar（小于 6.0 × 10-10 Torr） |
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抽气口法兰 |
CFF 4.5 英寸，ISO 63 |
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CFF 2.75 英寸，KF 40 |
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前级管道法兰 |
KF16 |
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转速 |
81000 rpm（1350 Hz 驱动频率） |
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启动时间 |
小于 2 分钟 |
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推荐的前级泵 |
机械： |
Agilent DS-42/102 |
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干式泵： |
Agilent SH-110/IDP-3 |
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工作位置 |
任意 |
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操作环境温度 |
5 ℃ 至 35 ℃ |
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空气的相对湿度 |
0 至 90%（非凝缩） |
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烘烤温度 |
进样口法兰最高温度 80 ℃（ISO 法兰） |
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进样口法兰最高温度 120 °C（CFF 法兰） |
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润滑油 |
持久润滑 |
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冷却要求 |
气流温度：（环境温度为 5 至 35 ℃） |
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水（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷） |
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水温： |
15 ℃ 至 25 ℃ |
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最小流量： |
65 L/h (0.30 GPM) |
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柱压： |
2 至 4 bar（45 至 75 psi） |
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噪声声压级 |
1 米内全转速时，小于 40 dB(A) |
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储存温度 |
-40 ℃ 至 70 ℃ |
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最大高度： |
3000 m |
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重量 kg（磅） |
泵用 ISO 63 法兰 |
2.05 kg |
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泵用 CFF 4.5 英寸 |
3.50 kg |
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泵用 CFF 2.75 英寸 |
3.34 kg |
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泵用 KF 40 英寸 |
2.37 kg |
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符合规范 |
EMC |
61326-1 |
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安全 (CE/CSA) 法规 |
DIR 2006/42/CE |
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ROHS |
DIR 2011/65/EU |
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抽速曲线图
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