涡轮分子泵
Turbo-V 551 Navigator
采用 MacroTorr 拖动技术的 Turbo-V 551 Navigator 涡轮分子泵能为一系列高真空应用提供高压缩比、高抽气量和高出口压力。 V 551 内独特的轴承和永久性干式润滑剂消除了油的使用，实现了免维护，并允许泵在任意角度安装进行操作。 安捷伦（前瓦里安）可提供配备 Navigator 泵机一体式控制器（集成了电子设备）或标准机架式控制器（用于简单安装）的 V 551 泵。 Turbo-V 551 可单独作为泵出售，也可以与控制器、进气口滤网和电源线一起作为机组套件出售。 还拥有专为扫描电子显微镜优化的泵版本，能最大限度地减少振动和磁场特征。
特性
- MacroTorr 牵引技术在紧凑经济的仪器中实现了更高的前级耐压、更高的效率以及更小的前级泵
- 固体润滑剂极低的蒸汽压保证了泵陶瓷轴承能保持永久润滑
- 泵可以在任意角度安装和运行
- 免维护、无油、无填充、无污染
- 精密的加热设计减少了热耗散和功耗
- Navigator 泵机一体式控制器能提供即刻抽空操作，或者选用机架式控制器以匹配您当前的系统体系
- 可选择在您的 PC 上运行 T-plus 软件以进行远程操作和性能监控
- 用于 SEM 的泵采用比悬浮泵更优越的震动隔离系统，并且在同类产品中有着最低的磁场特征
性能指标
技术指标
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泵速 |
氮气 |
氦气 |
氦气 |
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CFF 6 英寸 |
350 L/s |
450 L/s |
450 L/s |
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CFF 8 英寸或 ISO 160 |
550 L/s |
600 L/s |
510 L/s |
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压缩比 |
1 x 109 |
1 x 107 |
1 x 106 |
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极限真空（采用推荐前级泵） |
小于 1 x 10-10 mbar（小于 1 x 10-10 Torr） |
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进气口法兰选择 |
CFF 6 英寸；CFF 8 英寸；ISO 160；ISO 160-F 螺栓 |
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前级管道法兰 |
KF25 |
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转速 |
42000 rpm |
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启动时间 |
小于 5 分钟 |
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推荐的前级泵 |
Agilent TS300 干式涡旋泵； |
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Agilent DS-302 旋片泵 |
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工作位置 |
任意 |
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冷却要求 |
自然空气对流； |
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可用水冷（请使用导电性为 500 µS/cm 的水） |
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烘烤温度 |
120oC 在进气口法兰处，最大值（CF 法兰）； |
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80oC 在进气口法兰处，最大值（ISO 法兰） |
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振动参数（位移） |
在进气口法兰处小于 0.01 μm |
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重量，kg（磅） |
ISO 法兰：19.4 (43.0); |
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CF 和 ISO 螺栓法兰： 23.4 (51.6) |
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抽速图
外形图
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