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干式涡旋泵

真空泵隔离阀 (VPI)

 

安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接,并且在断电时可以快速关闭,从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空,这样可以将碎屑全部推向出口,从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了最大的真空流导。

 

 

 

 

 

特性


  • 采用中心锁定机构实现可靠、可重复的密封
  • 快速动作,在电源故障情况下阀门在 30 毫秒内关闭,防止油或污染物迁移,为您的真空系统提供及时的保护
  • 在泵入口侧进行泵放空,保持流向不变;油/碎屑不会冲入系统中
  • 在泵入口压力恢复到系统压力之前保持关闭,以提供持续的保护并方便重启
  • 在大气压下操作,并且在断电时执行,操作无需压缩空气
  • 提供最大的流导,不降低抽速

 

 

 

性能指标

 

技术指标

材料

阀体:6061-T6

铝活塞:2024

铝密封垫:氟橡胶

漏率

阀体和密封垫:< 1 x 10-9 std cc/s 氦气

关闭时间

< 30 ms

电源

115 VAC 7 W

通导

NW25 — 13 L/s NW40 — 33 L/s

温度范围

阀: 100˚ C 电磁阀 50˚ C

 

 

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