真空泵隔离阀 (VPI)
安捷伦真空隔离阀 (VPI) 与机械泵采取并联方式电连接,并且在断电时可以快速关闭,从而防止油返流或颗粒进入您的真空系统。该阀门还从入口侧对泵排空,这样可以将碎屑全部推向出口,从而防止碎屑在泵重启时被冲入系统中。阀体设计和直角式构造提供了最大的真空流导。
性能指标
技术指标
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材料 |
阀体:6061-T6 |
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铝活塞:2024 |
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铝密封垫:氟橡胶 |
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漏率 |
阀体和密封垫:< 1 x 10-9 std cc/s 氦气 |
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关闭时间 |
< 30 ms |
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电源 |
115 VAC 时 7 W |
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通导 |
NW25 — 13 L/s NW40 — 33 L/s |
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温度范围 |
阀:0˚ 到 100˚ C 电磁阀 0˚ 到 50˚ C |
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