多功能检漏仪
VS BD30 台面固定干式检漏仪
VS 系列检漏仪将双键操作的简易性和高级专家系统智能结合了起来。最先进的质谱仪与真空系统的结合能提供强大的性能，为不同的应用提供广泛的测试方法。多种多样的选择带来了巨大的配置灵活性，极富活力的设计创意令 VS 系列检漏仪能够在最严苛的环境中可靠地运行，满足最苛刻的工业标准。
特性
- 带 TS620 干式涡旋泵的台面固定式检漏仪
- 全自动的初始设置及校正最大程度地提升了效率
- 测试接口高压力允许对大型泄漏的检测
- 快速的净化延长了系统的正常运行时间，强大的法拉第杯技术以低廉的维护成本带来了经证实的可靠性
- 新型高效离子源和束流光学优化了灵敏度和质量分离
- 检漏仪可以外放于洁净室内，从而避免污染
性能指标
技术指标
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VS PR02 — 便携式 |
DS-42 旋片泵 |
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VS PD03 — 便携式 |
干式泵组合 |
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— 移动式 VS MR15 |
DS-302 旋片泵 |
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VS MD30 — 移动式 |
TS-620 干式涡旋泵 |
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VS BR15 — 台面固定式 |
DS-302 旋片泵 |
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VS BD30 — 台面固定式 |
TS-620 干式涡旋泵 |
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环境氦气浓度 1000 ppm 时的最小可检泄漏 |
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Atm cc/s 氦气 |
5 × 10-12 |
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Mbar-L/s 氦气 |
5 × 10-12 |
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Pa-m³/s 氦气 |
5 × 10-13 |
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最大测试接口压力 |
10 torr/13 mbar/1330 Pa |
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氦气抽速 |
精细测试时测试接口处为 1.8 L/s |
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校准程序 |
自动或手动 |
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背景氦气抑制 |
按键式自动归零， |
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零点自动跟踪 |
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用户界面 |
高清晰度彩色触摸屏 |
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可选择的语言 |
英语，法语，德语，日语，韩语，简体中文，西班牙语 |
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用于自动循环的可编程功能 |
粗抽时间，测试时间，拒绝设定点 |
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响应时间 |
< 0.5 s |
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设定点（标准 — 5） |
泄漏速率 (3)，压力 (1)，音频 (1) |
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通讯接口 |
RS-232，9600 波特（DB-9S 连接器） |
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认证标准 |
UL/CSA, CE |
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