传感器
563 B-A 型规管
安捷伦 563 B-A 型热阴极电离规管采用加热灯丝作为电子源。该规管在 2 x 10-10 至 1 x 10-3 torr 的压力范围内具有卓越的性能。玻璃壳体内部使用铂涂层，可以在较低压力下为真空规提供静电屏蔽，同时又可释放高压下可能积聚的静电。此外，还提供在低于 5 x 10-6 torr 真空下的校准规，用于测试真空规控制器。
特性
- 563 规管拥有多种接口类型可供选择。
性能指标
技术指标
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灵敏度 |
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10 (Torr)-1 (mbar)-1（通常情况下） |
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通过 Agilent STARRS 程序可选择精确测量。 |
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请联系安捷伦获取详细信息 |
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工作值 |
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• 0 VDC（收集级） |
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• + 180 VDC 接地（栅极） |
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• + 30 VDC 接地 |
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• 5 VAC 额定电压（灯丝） |
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X 射线极限值 |
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2 x 10-10 Torr, (2.6 x 10-10 mbar) |
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工作压力 |
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2 x 10-10 Torr 到 1 x 10-3 Torr? |
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（2.7 x 10-10 mbar 到 1 x 10-3 mbar） |
外形图
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