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主动式真空计

 PVG-500S 皮拉尼规管

 

Agilent PVG-500/500S(钨)/502S(镍)系列皮拉尼规实现了在紧凑的设计中对最新技术与坚固耐用的完美结合。PVG-500 系列采用最先进的数字皮拉尼技术和不锈钢传感器设计,可以满足今日市场的各种需求。

 

 

 

 

特性

 

  • 具有对数信号输出的紧凑的耐久铝外壳简化了一体化构造,并可以任何方向安装
  • 具有金属密封穿导件的不锈钢传感器单元提供了适合多种应用的耐久设计
  • 按钮 ATM 和高真空 (HV) 调节功能使设置非常方便
  • 镍灯丝选件适合在腐蚀性环境下使用
  • 可选设定点允许利用压力读数进行重要操作

 

 

 

 

 

性能指标

 

技术指标 

测量范围

5 x 10-4  1000 mbar3.75 x 10-4  750 Torr

(空气,O2CON2

准确度 (N2)

单位

读数 (%)

+ 15%

1 x 10-3  100 mbar 1 x 10-3  75 Torr

+ 50%

5 x 10-4  1 x 10-3 mbar3.75 x 10-4  1 x 10-3 Torr

+ 50%

100 1000 mbar75 750 Torr

重复性 (空气)

1 x 10-3  100 mbar1 x 10-3  75 Torr — 读数的 % +2%

输出信号 (测量信号)

电压范围

测量范围

0 10.3 V

1.9 10.0 V

电压与压力关系

1.286 V/格,对数

错误信号

0 0.5 V(灯丝断裂)

最小负载阻抗

10 kΩ,短路保护

响应时间

80 ms

调整

一个触摸式开关,可用于 ATM HV 调节

识别规管

27 kΩ,与常见备件参照

设定点 (2)

 

PVG-500

PVG-500S, PVG-502S

 设定范围

2 x 10-3  500 mbar1.5 x 10 -3  375 Torr

滞后

比读数的 % 的下阈值高 10%

继电器触点

30 VDC/0.5 ADC 浮动

切换时间

< 20 ms

电源电压

在规管处

脉动

能耗

14 30 VDC

≤ 1 Vpp

≤ 1 W

电气连接

FCC 68/RJ45 设备连接器,8 芯,外口

传感器电缆

8 芯加屏蔽

电缆长度

≤ 100 m330 英尺)

暴露于真空中的材料

玻璃,镍,镍铁合金,钨(钨型)

允许温度

操作

储存

真空连接

5 60

–20 + 65 °C

80

 

 

 

外形图

 

 

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