真空阀
26 系列铝挡板阀
安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 公司合作生产的 26 系列铝挡板阀。26 系列阀门紧凑可靠，可以在半导体和仪器制造、研发和工业真空系统的粗真空至高真空应用中使用。这些挡板阀在大多数应用中首次维护前能可靠地实现 3 百万次关断。这些阀门有直角和直通两种型号，均可手动和气动操作。气动阀也可配置位置指示器。位置指示器可在开关时输出电信号，并且用户可以设置常开或常闭模式。
特性
- 该阀门坚固耐用，性价比高，首次维护之前可关断 3 百万次
- 兼容高真空，压力范围可达 1 × 10E-8 mbar
- 可快速方便安装 KF 法兰
- 可以以任意角度安装
- 可选择手动和气动操作及 115 VAC，220 VAC，24 VDC 的电磁阀
- 提供位置指示
性能指标
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首次维护前关断次数 |
带手动致动器 |
10 000 |
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带关闭弹簧（气动） |
3 百万次 |
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最高温度 |
阀体 |
≤ 150 °C |
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手动和气动致动器 |
≤ 120 °C |
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电磁阀，位置指示器 |
≤ 80 °C |
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材质 |
阀体 |
铝 EN AW-6060 (3.3206) |
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插板 |
AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
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波纹管 |
AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 316 Ti (1.4571) |
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密封：阀盖，插板 |
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氟橡胶 (Viton) |
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>安装方向 |
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任意 |
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电磁阀 |
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24 VDC, 115 VAC, 220 VAC |
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>位置指示器：触点额定值 |
电压 |
5 – 50 V AC/DC |
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电流 |
5 – 100 mA |
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>阀位指示 |
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可视（机械） |
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漏率：阀体，阀座 |
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< 1 · 10 -9 mbar Is-1 |
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>压力范围 （波纹管） |
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1 · 10-8 mbar 至 5 bar（绝对压力） |
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插板处的压力差 |
在打开方向 |
≤ 2.0 bar |
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在关闭方向 |
≤ 5.0 bar |
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|
开启时压差 |
|
≤ 1 bar |
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