主动式真空计
CDG-500 电容薄膜规管
Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜规管可以在高压范围内提供较高精度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr 的全量程测量。CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝瓷隔膜，可提供超常的信号稳定性，并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性无与伦比的特点。
特性
- 全量程从 1 至 1000 Torr，按钮调零，可选设定点控制使一体化更加方便
- 优异的长期信号稳定性和重现性
- 从大气压下恢复迅速，启动后迅速达到稳定状态，缩短了过程循环时间
- 采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护，确保了坚固耐用
性能指标
技术指标
|
测量范围（全量程） |
Torr |
1000 |
100 |
10 |
1 |
|||
|
Pa |
133,322 |
13,332 |
1,333 |
133 |
||||
|
mbar |
1333 |
133 |
13.3 |
1.3 |
||||
|
读数 (%) |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
||||
|
温度效应 |
零 |
全量程%/°C |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.015 |
||
|
零 |
跨度 |
读数 (%)/°C |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
||
|
分辨率 |
全量程% |
0.003 |
0.003 |
0.003 |
0.003 |
|||
|
最大压力 |
kPa（绝对压力） |
400 |
260 |
260 |
260 |
|||
|
最低读数 |
全量程% |
0.01 |
||||||
|
建议最低读数 |
全量程% |
0.05 |
||||||
|
建议最低控制压力 |
全量程% |
0.05 |
||||||
|
温度 |
操作（周围环境） |
烘烤温度 |
储存 |
|||||
|
（法兰处）2 |
||||||||
|
5 到 50 ℃ |
< 110 °C |
–40 到 65 °C |
||||||
|
电源电压 |
14 到 30 VDC |
|||||||
|
能耗 |
< 1 W |
|||||||
|
输出信号（模拟） |
0 到 10 VDC |
|||||||
|
响应时间 |
30 ms |
|||||||
|
防护等级 |
IP30 |
|||||||
|
电气连接 |
D-Sub，15 针，内螺纹 |
|||||||
|
设定点3 — 二 (2) 个设定点，SP 1 和 SP 2 |
继电器触点 |
滞后 |
||||||
|
30 VDC；< 0.5 ADC |
全量程的 1% |
|||||||
|
暴露于真空中的材料 |
氧化铝陶瓷 (Al2O3)，Vacon 704，不锈钢 (AlSl 316L5) AgCuTi 钎焊，密封玻璃 |
|||||||
外形图
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