主动式真空计
FRG-700/702 Pirani Inverted Magnetron Gauge
安捷伦 FRG-700 规为全量程规，在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从 5 x 10-9mbar 至大气压（3.8 x 10-9 Torr 至大气压）的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号，内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700（法兰处最高 55℃）更高的温度（法兰处最高 150℃）下工作。
特性
- 两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中
- 测量过程和极限压力从 5 x 10-9 mbar 至大气压（3.8 x 10-9 Torr 至大气压）
- 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出，可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
- 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力，以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
- 宽测量范围，从 5 × 10-9 mbar 至大气压
- 灯丝不易毁坏
- 优异的启动性能
- 易于清洁
性能指标
技术指标
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FRG-700/702 全量程复合规 |
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测量范围 |
5 x 10-9 到 1000 mbar（3.8 x 10-9 到 760 Torr） |
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准确度 |
± 30 % 读数，典型值 |
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重复性 |
± 5% 读数，典型值 |
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安装方向 |
任意 |
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允许温度（周围环境） |
操作存储 |
烘烤温度* |
（皮拉尼） |
灯丝温度 |
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5 到 55 °C |
–40 到 + 65 °C |
150°C |
120 °C |
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电源电压 |
在规管处 |
脉动 |
能耗 |
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15 到 30 VDC |
≤ 1 Vpp |
≤ 2 W |
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输出信号（测量信号） |
电压范围 |
测量范围 |
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0 到 10.5 V |
1.82 到 8.6 V |
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电压与压力关系 |
0.6 V/十进制, 对数的 |
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错误信号 |
< 0.5 V（无输入），> 9.5 V（皮拉尼传感器，灯丝断裂） |
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最小负载阻抗 |
10 kΩ，短路保护 |
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响应时间 |
< 10 ms（当压力大于 10-6 mbar 时），≈ 1000 ms（当压力等于 10-8 mbar 时） |
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识别规管 |
85 kΩ，参照常见供应 |
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状态 |
仅皮拉尼规模式 |
复合皮拉尼/冷阴极模式 |
LED |
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0 V（低） |
15 V到 30（高） |
绿色 LED 亮即表示高电压开 |
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电气连接 |
FCC 68 应用连接器，8芯，内孔式配件 |
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传感器电缆 |
8 芯加屏蔽 |
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最大电缆长度 |
≤ 50 m |
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工作电压/电流 |
≤ 3.3 kV/≤ 500 A |
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暴露于真空中的材料 |
SS，Al2O3，FPM75，Mo，Ni，Au，W |
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内部体积 |
≈ 20 cm3 |
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重量 |
DN 25 ISO-KF ≈ 700 g，DN 40 CF ≈ 980 g |
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标准 |
EN 61000-6-2，EN 61000-6-3，EN 61010-1 |
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外形图
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