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主动式真空计

FRG-720/730 Pirani Bayard-Alpert Gauge

 

 FRG-720 和 FRG-730 将安捷伦的皮拉尼和 B-A 型传感器组合到单个紧凑设计中,具有压力范围从 5 x 10-10 mbar 至大气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气压)的测量能力。通过将两种技术组合到同一规管内,可以在降低复杂性和集成难度的同时防止 B-A 传感器过早烧毁。

 

 

 

 

 

特性

 

  • B-A 型和皮拉尼复合规具有从 5 x 10-10 mbar 至大气压的宽测量范围
  • 皮拉尼联锁可防止 B-A 型传感器过早烧毁和受高压操作污染
  • 使用寿命长的涂氧化钇铱灯丝提供了适合多种应用的耐久设计
  • 设定控制点
  • LCD 显示器选件使压力读数监控更加方便
  • Profibus 通信选件简化了控制网络

 

 

 

性能指标

 

技术指标

测量范围(空气、O2CON2

5 x 10-10  1000 mbar3.8 x 10-10  760 Torr

准确度

10-8  10-2 mbar/torr — 读数准确度为 ± 15%

重复性

10-8  10-2 mbar/torr — 读数准确度为 ± 5%

除气

压力低于 7.2 x 10-6 mbar — 电子轰击,最多 3 分钟

最大压力

2 bar(绝对压力)

温度

操作

储存

在带有外延法兰处的烘烤温度

不带外延法兰处的烘烤温度

电子移除后的烘烤温度

(周围环境)

0 50 °C

-20 + 70

150°C

80

150°C

电源电压

20 28 VDC,在启动 200 ms 电流为 1.4 A,工作时电流为 0.8 A

输出信号模拟

0 10 V

测量范围

0.774 10.0 V

电压和压力关系

0.75 V/

错误信号

0.3/0.5 V

最小负载阻抗

10 kΩ

通讯接口

RS-232C

电气连接

D-sub15 针,外口

最大电缆长度

100 m330 英尺)

暴露于真空中的材料

Yt2O3IrPtMoCuWNiFeNiCr,不锈钢,玻璃

内部体积

KF/CF

24 cm31.46 立方英寸)/34 cm32.1 立方英寸)

重量

KF/CF

285 g/550 g

保护类型

IP30

FRG-730 设定点继电器 (1)

范围

继电器触点

触点额定值

1 x 10-9  100 mbar

n.o.

30 V/0.5 A,直流

Profibus 选项

波特率

9.6/19.2/93.75/187.5/500 千波特;1.5/12 毫波特

地址

2 个开关(地址 00 - 127)或可网络编程

数字功能

读取压力,选择单位 (Torr, mbar, Pa);脱气功能,皮拉尼全量程调整;监控规管状态;安全状态允许对错误情况的行为进行定义;详细的报警和警告信息

模拟功能

0 10 V 模拟输出压力指示;两个设定点继电器 A + B

设定点继电器 (2)

范围

继电器触点

滞后

触点额定值

1 x 10-9  100 mbar

n.o.

10 % 读数

60 V/0.5 A,直流

Profibus DP 连接器

D-Sub9 针,内口

 

 

 

 

 

外形图

 

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