真空阀
54 系列全金属 UHV 阀门
安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 合作生产的 54 系列全金属超高真空阀门。这些阀门专为超高真空系统设计，烘烤温度可高达 300 ºC，并且不使用弹性体及低熔融温度金属。阀门可使用标准的六角扳手进行手动操作，不必使用扭矩扳手。由于采用金属密封，这些阀门可以在维护之前，开关上千次。54 系列阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于 10 - 11 torr (mbar) 的真空密封。
特性
- 专为超高真空 (UHV) 设计的全金属阀门
- 压力范围从极高真空 (XHV) 到高达 2 bar
- 在打开和关闭位置可烘烤温度达 300 ℃
- 独特的 VATRING 密封能提供“金属”接触式密封，维护前可开关 1000 多次。
- 可以以任意角度安装
- 可视的位置指示
性能指标
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漏率：阀体，阀座 |
< 1 x 10-10 mbar Is-1 |
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压力范围 |
从极高真空 (XHV) 到 2 bar (abs) |
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插板处的压力差 |
≤ 2 bar |
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开启时压差 |
≤ 1 bar 1 |
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寿命 |
≥ 1000 次 |
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烘烤温度 2 |
≤ 300 °C（开启和关闭时） |
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加热和冷却速度 |
= 60 °C h-1 |
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材料：阀体，机械装置，波纹管 |
AISI 316L (1.4404, 1.4435) |
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密封：阀盖，插板 |
金属 |
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穿导件 |
波纹管 |
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安装方向 |
任意 |
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阀位指示 |
可视（机械） |
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流导（分子流） |
NW 16：5 Ls-1/NW 40：50 Ls-1 |
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闭合力 |
处于机械停止状态时关闭 |
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重量：kg（磅） |
NW 16： 0.4 (0.9) |
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NW 40：1.9 (4.2) |
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1) 随着循环次数减少 >1 bar |
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2) 最大值：取决于工作条件和密封材料 |
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