真空阀
微调放气阀
安捷伦微调放气阀包括可移动的活塞，其光学级平滑的蓝宝石端面可与金属密封垫可靠密封。这样可以形成完全无摩擦、咬合和偏斜的密封。蓝宝石的位移通过机械增益为 13000 比 1 的螺纹轴杆机构控制。
特性
- 用于特种阀门应用
- 范围从大气压到低于 10-11 torr (mbar)
- 具有手动和气动型号
- 在灵敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦质谱检漏仪上检测不到泄漏
- 最大流导 6 l/m
- 可烘烤至 450° C
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